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BGY-717

BGY-717
  • 商品详情

一 適用範囲 

炭化ケイ素ウエハーの研磨に使用される 


二 製品特徴

 1.粒子径の均一性や分散性に優れる。

2.ダメージフリーの研磨加工面が得られる。  

3.混合した後のスラリーpHが中性で、取り扱いしやすい。

4.たかい切削率が得られる、良品率が高い。

 

三 主要技術指標 

化学成分

コンテンツ

酸化セリウム

58

脱イオン水

9295

その他

1

                

化学や物理的な指標

基準値

D50

80120nm

PH

2-3

赤い

 備考:上記データは顧客様の要求によって調整できる。

 

 四 包装・荷姿

 5/bucket  20/bucket


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