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BGY-717

BGY-717
  • 商品详情

适用范围:

应用于第三代半导体材料碳化硅晶片的抛光工序,碳化硅材料具备超硬特性,常规氧化硅抛光液存在抛光效率慢的问题,

本产品在Si面碳化硅抛光上具有很好的表现,它有高效的去除速率,抛光后的碳化硅表面缺陷较少,同时在抛C面碳化硅

时亦可以获得良好的表面质量,从而确保被抛工件有较高的抛光效率及良品率,提高客户产品竞争力。

主要技术指标:

抛光液参数

粒径D50

80-120 nm

PH

2-3

固含量

5-8%

颜色

紫红色

包装

5KG/   20KG/


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